熒光光譜儀又稱熒光分光光度計，是一種定性、定量分析的儀器。通過熒光光譜的測試可以獲得物質(zhì)的激發(fā)光譜、發(fā)射光譜、熒光壽命以及液體樣品濃度等方面的信息。光譜儀的組成在硬件上相似的，其差別主要在于硬件材質(zhì)、儀器精密程度以及部分次要功能上的不同。此外，不同熒光光譜儀所使用的軟件在界面和功能上存在較大的差別。熒光光譜儀的重要的部件包括光源、激發(fā)單色器、發(fā)射單色器、光電倍增光（PMT）以及外聯(lián)設備電腦等。
日本理學X射線熒光光譜儀特點
1、儀器結(jié)構(gòu)簡單，省略了晶體的精密運動裝置。還避免了晶體衍射所造成的強度損失。光源使用的X射線管功率低，一般在100W以下，不需要昂貴的高壓發(fā)生器和冷卻系統(tǒng)，空氣冷卻即可，節(jié)省電力。
2、能量色散形熒光光儀的光源、樣品、檢測器彼此靠得很近，X射線的利用率很高，不需光學聚集，在累積整個光譜時，對樣品位置變化不象波長色散型熒光光儀那樣敏感，對樣品形狀也無特殊要求。
3、在能量色散譜儀中，樣品發(fā)出的全部特征X射線光子同時進入檢測器，這就奠定了使用多道分析器和熒光屏同時累積和顯示全部能譜(包括背景)的基礎，也能清楚地表明背景和干擾線。因此，半導體檢測器X射線光譜儀能比晶體X射線光譜儀快而方便地完成定性分析工作。
4、能量色散法的一個附帶優(yōu)點是測量整個分析線脈沖高度分布的積分程度，而不是峰頂強度。因此，減小了化學狀態(tài)引起的分析線波長的漂移影響。由于同時累積還減小了儀器的漂移影響，提高凈計數(shù)的統(tǒng)計精度，可迅速而方便地用各種方法處理光譜。同時累積觀察和測量所有元素，而不是按特定譜線分析特定元素。因此，減小了偶然錯誤判斷某元素的可能性。 
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